半導體零件加工之決竅

    安穩性是成功的關鍵所在

 

    某些機加工車間發現半導體零件難以有用加（jiā）工，但（dàn）這種觀念（niàn）並不代表現（xiàn）代加工辦法和刀（dāo）具的發展趨勢。之所以困難，部分是由於半導（dǎo）體零件加工是新興工（gōng）藝，缺少可借（jiè）鑒的經曆。此外，困難一般與期望（wàng）值及操作者的經曆相關（guān），特別是有些人現已習慣了鑄鐵或低合金鋼等（děng）資料（liào）的加工方式，這些資料的加（jiā）工要求一（yī）般很低。比較之下，加工半導體零（líng）件好像更困難些，由於加工時不能選（xuǎn）用相同（tóng）的刀具和（hé）相同的速率，而且刀具的壽數也不（bú）同。即使與某些不鏽鋼（gāng）比較，半導體零件加工的難度也依然要（yào）高。固然可以說，加工半導體零（líng）件有必要采取（qǔ）不同（tóng）的切削速度和進給量以及一定（dìng）的預防措施。其實與大多數資料比較，半導（dǎo）體零件也是一種徹底可直（zhí）接加工的資料。隻需半導體零件（jiàn）安穩，裝夾結實，機床的挑選正（zhèng）確（què），動力適宜，工況良（liáng）好，而且裝備具有較短刀具懸伸的ISO50主（zhǔ）軸，則所有問題都會迎刃而解——隻需切削刀具正確的話。

 

    但在實際銑削加工中，半導（dǎo）體零件加工（gōng）所需的條件不簡單悉數滿意，由於理想的安穩條（tiáo）件並不總是（shì）具有。此外，許多半導體零件的形狀複雜，或許包括許多細密或深長的型腔、薄壁、斜麵和薄托座。要想成功加（jiā）工（gōng）這樣的零件，就需求運（yùn）用大（dà）懸伸、小直徑刀具，這都會影響（xiǎng）刀（dāo）具安穩（wěn）性。在加工半導體零件時，往往更簡單呈現潛在的安穩性問題。
 

 

 

    精度、條件（jiàn）和正確的切削參數

 

    刀具軸向和徑向上的跳動精度也很重要。例如，假如未將刀片正確地安裝到銑刀中（zhōng），則（zé）銑刀周圍的（de）切削刃會（huì）敏捷損壞。在切削半導體零件時，其它一（yī）些要素，例如刀具製造公（gōng）役（yì）不良、磨損和刀具受損（sǔn）、刀柄有缺點或質量差、機床主軸磨（mó）損等等，都會在很（hěn）大程度上影響（xiǎng）到刀具壽數。調查成果表明，在所（suǒ）有加工表現（xiàn）不佳的案例中，80％都是由這些要素所形成。雖然大多數人喜愛選用正前（qián）角槽形刀具，但事實上稍帶負前角槽形的刀具能以更高的進給去除資料，而且每齒進（jìn）給量可達（dá）0.5mm。可是這同時也意味著有必要堅持最佳安穩狀況（kuàng），即（jí）機床應非常鞏固，且裝夾應極（jí）其安穩。　　除進行（háng）插（chā）銑（最好運用圓刀片）之（zhī）外，應盡量防止（zhǐ）運（yùn）用90主偏角，這樣做一般（bān）有助（zhù）於進步安穩性和取得整體性能，當在淺切深下運用時尤應如此（cǐ），在進行深腔（qiāng）銑時，一種值得推薦的做（zuò）法是通過刀具接柄而運用長度可（kě）變的刀具，而不是（shì）在整個工序中運用單一長度的長刀具。

 

    調整切削參數以克服因下降每（měi）齒進給量而引起的（de）振蕩是傳統的解決（jué）辦法（fǎ），但這種辦法並不恰當，由於它會對刀具壽數和切削性能發生災難性影響。可轉位刀片需求一定量的切削刃倒圓，以添加切削刃強度和取得更好的塗層粘附力。在銑削半導體零件時，要求刀具至少以最小的進給量工作——一般為每齒0.1mm。假如扔有振蕩趨勢（shì），則刀片損壞或（huò）刀具壽數縮短問題（tí）將不可防（fáng）止。或許的解決辦法包括準確核算每齒進給量，並（bìng）確保它至少為（wéi）0.1mm。

 

    別的也可下降主軸轉速，以到達開始的進給率。假如運用最小的每齒進給（gěi）量，而主軸轉速卻不正確，則對刀具壽數的影響可高達95%。下降主軸轉速一般可進步刀（dāo）具壽數。

 

    一旦確立了安穩工況，就可相應（yīng）地進步主（zhǔ）軸轉速和進給量來（lái）取得最佳性能。另一種做法是從銑刀中取出一些刀片或挑選含刀片較少的銑刀。